衍射光栅
其他衍射光学元件
核心技术
公司创始团队在衍射光栅研制方面有四十余年的技术积累,自主掌握“光栅设计、全息曝光、刻蚀、综合清洗”等核心技术,实现系列高精密光栅及核心工艺设备的自主可控,核心产品在国内属“补短板、填空白”。
公司具备口径达到米级的衍射光栅研制及批量化生产能力,使用波长涉及软X射线至红外波段。主要工艺技术为全息光刻-离子束刻蚀(熔石英基底)和全息光刻-湿法腐蚀(单晶硅基底)。自研大口径工艺设备突破加工光学元器件的口径限制,设备最大加工口径达1.5m。
主营业务
衍射光学元件、工艺服务
技术始于
1984 年
总部地址
安徽省合肥市肥东科创小镇