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站育英才 智启微纳|“泛半导体工艺离子束刻蚀设备及核心部件国产化”项目斩获铜奖
2025年7月25日,中国(安徽)博士(后)创新创业大赛暨第三届安徽省博士后创新创业大赛决赛在合肥市中安创谷科技园圆满落幕。中科光栅“泛半导体工艺离子束刻蚀设备及核心部件国产化”项目历经初赛专家评审与决赛激烈角逐,凭借突出的技术实力与创新成果,在全省592个高水平参赛项目中脱颖而出,斩获大赛博士后创业组铜奖。

本次大赛以“创新安徽等您来”为主题,全面落实“万名博士后聚江淮”若干措施,充分发挥博士后制度在培育新质生产力、攻克关键核心技术中的关键作用。赛事设置博士后创新组、博士后创业组和博士创新组三大组别,覆盖新一代信息技术与人工智能、高端装备制造与机器人、新能源与节能环保等七大领域赛道,旨在推进博士、博士后科研成果转化落地,助力安徽省构建具有国际竞争力的科技创新生态。
2023年12月,中科光栅成功获批设立安徽省博士后科研工作站。工作站与博士后人才形成协同创新机制,加速推动泛半导体领域关键装备国产化进程,实现核心技术自主可控的战略目标。公司持续深耕精密制造与微纳加工技术,业务布局从精密光学领域向泛半导体制造核心装备纵深拓展。

项目提供的离子束刻蚀设备,是光电和泛半导体领域微纳加工的关键生产设备。
♦技术突破
项目依托团队数十年技术积淀,攻克高端离子束刻蚀设备及核心部件的国产化瓶颈,成功研制出高均匀性、高准直性、高稳定性的条形射频离子源,实现从核心部件到整机的完全自主研发,填补国内高端装备空白。
♦产品矩阵
构建玄衍和玄光两大系列设备矩阵。
•玄衍系列:采用自主研制的射频离子源,实现核心技术100%国产化,用于AR衍射光波导新品开发;
•玄光系列:针对大口径精密光栅研制需求,支持最大1600mm×600mm基片刻蚀,适用于大口径脉冲压缩光栅、二维光栅尺(EUV光刻机精密位移台)等场景,并在半导体先进制程、光子芯片、MEMS器件及量子器件等领域具备显著技术延展性,可满足特殊槽型、复合结构等精密器件的制造需求。
♦特色服务
支持石英、蓝宝石、碳化硅、单晶硅等多类光学基板材料的定制化刻蚀加工服务, 满足纳米级光栅刻线、光波导结构等复杂工艺需求。
此次获奖,是公司核心技术实力和创新能力的重要展示与权威认可。未来,公司将以博士后科研工作站为创新引擎,持续锻造一流研发团队,以高精密衍射光栅为核心突破方向,深耕泛半导体及光学精密加工等战略领域,推动离子束刻蚀设备、高精密光栅等核心器件与设备国产化,持续赋能安徽新质生产力高质量发展,助力中国制造高端化。