近日，安徽省工业和信息化厅对《2024年度第二批安徽省首台套重大技术装备名单的通知》进行了公示，经创新主体申报、市工信主管部门审核推荐、第三方评定机构组织专家会议评审和现场核查、公示等程序，中科光栅研制的“LKF-300大口径全息波导闪耀光栅元件研制系统（反应离子束刻蚀机）”成功入选。

首台套重大技术装备是高端装备的标志性产品，是区域创新能力的体现，也是衡量企业核心竞争力的重要标志之一。此次入选的产品是公司自主研发的专用于衍射光栅、衍射光波导等微纳元件刻蚀的高端装备，离子束扫描刻蚀区域大于200mmx200mm，刻蚀均匀性优于±3%，总体技术达到国内先进水平；未来有望应用于其它光子器件、集成电路等的干法蚀刻工艺。

中科光栅也将以此为契机，继续立足于自身发展优势，进一步加大重大技术装备的研发力度和推广应用，全力突破国外卡脖子技术，致力于实现多方位进口替代，成为推动我省制造业高质量发展的中坚力量。