衍射光栅
其他衍射光学元件
计算全息CGH
描述:
CGH可以将激光干涉仪测试波前,“转化为”所需的非球面波前,进行非球面测试。理论上CGH可以生成任意形状的自由波前。通过CGH测试非球面,特别适用于高精度非球面面形检测,以及对于工业上定型设计的非球面批量检测。
衍射光学元件
基于全息光刻-离子束刻蚀工艺的衍射光学元件